經(jīng)過(guò)刻苦攻關(guān)，云南省國(guó)際合作計(jì)劃專(zhuān)項(xiàng)——“半導(dǎo)體器件用鎳鉑靶材的制備關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化”取得重大突破，建立了生產(chǎn)線并取得良好經(jīng)濟(jì)效益，鎳鉑靶材替代了進(jìn)口產(chǎn)品并遠(yuǎn)銷(xiāo)海外。日前，由貴研鉑業(yè)股份有限公司承擔(dān)的該項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收，總體評(píng)價(jià)為優(yōu)秀。

　　項(xiàng)目實(shí)施過(guò)程中，技術(shù)團(tuán)隊(duì)開(kāi)展了鎳鉑靶的真空熔鑄及塑性加工等方面的研究，在鎳鉑靶的微觀結(jié)構(gòu)及擇優(yōu)取向控制、含脆性相靶材的塑性加工技術(shù)、異型靶材的沖壓成型技術(shù)；刀具的選型、裝夾工具設(shè)計(jì)及機(jī)加工優(yōu)化技術(shù)；靶材與背板的高可靠性焊接技術(shù)；加工過(guò)程中產(chǎn)生的邊角料清洗再利用技術(shù)、Pt的綠色高效化學(xué)提純技術(shù)4個(gè)方面取得重大突破。該技術(shù)團(tuán)隊(duì)先后入選昆明市科技創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)，云南省創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)培育對(duì)象、云南省工人先鋒號(hào)。

　　據(jù)悉，項(xiàng)目實(shí)施以來(lái)，取得了良好經(jīng)濟(jì)社會(huì)效益。貴研鉑業(yè)股份有限公司建成了年產(chǎn)1000片鎳鉑靶產(chǎn)品示范生產(chǎn)線，形成了長(zhǎng)方狀、碗狀和圓形3種外形，5種不同Pt含量的鎳鉑靶材產(chǎn)品，技術(shù)性能指標(biāo)及尺寸精度滿足了用戶使用要求。產(chǎn)品不但實(shí)現(xiàn)了替代進(jìn)口，還出口至美國(guó)知名半導(dǎo)體公司。累計(jì)銷(xiāo)售各類(lèi)鎳鉑靶材1300片，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值1.05億元，銷(xiāo)售利潤(rùn)1946.39萬(wàn)元，其中出口創(chuàng)匯517.2萬(wàn)美元。2017年，產(chǎn)品獲得第19屆深圳高交會(huì)優(yōu)秀產(chǎn)品獎(jiǎng)。期間，技術(shù)團(tuán)隊(duì)申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利20件，授權(quán)9件，發(fā)表論文22篇；引進(jìn)海歸博士1人，培養(yǎng)在職博士生4人，培養(yǎng)碩士研究生3人。（記者 施銘）

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